从LCD到Micro LED,显示技术的升级始终依赖蚀刻工艺对材料的极致掌控。
TFT背板的图形化
薄膜晶体管(TFT)制造需7-10次蚀刻步骤:
金属层蚀刻:Mo/Al/Mo叠层用磷酸/硝酸/醋酸混合液湿法刻蚀,确保电极导通电性。
半导体层蚀刻:a-Si或IGZO采用干法蚀刻,保护层界面免受等离子体损伤。
OLED像素精确分割
OLED发光层的精细隔离需使用阴影掩膜(FMM),但其精度受限。最新激光蚀刻技术可直接在有机材料上加工5微米宽像素,提升屏幕分辨率至3000 PPI。
柔性屏的蚀刻革新
聚酰亚胺(PI)基板上的铜电路通过卷对卷蚀刻工艺生产,采用FeCl₃溶液实现20微米线宽,弯曲次数超10万次无断裂。